ផលិតផលជំនួយសម្រាប់ថ្នាំកូតរន្ធ

លក្ខណៈប្រតិបត្តិការ៖ ០.០១ អ៊ុម ភាពត្រឹមត្រូវនៃការត្រឡប់មកវិញនៃសន្លាក់លោតក្បាលស្លាប់រន្ធ ០.០១ អ៊ុម គឺស្ថិតនៅក្នុងរង្វង់ ១ មីក្រូន

0.02um ភាពអត់ធ្មត់នៃការរត់ចេញរបស់រំកិលខាងក្រោយថ្នាំកូតគឺ 2μm ហើយភាពត្រង់គឺ 0.002μm/m។

0.002um/m ភាពត្រង់នៃគែមក្បាលផ្សិតរន្ធគឺ 0.002μm/m។

ជួរកម្មវិធី៖

ថ្នាំកូត photoresist នៃសារធាតុ semiconductor ថ្នាំកូត dielectric និងថ្នាំកូត film ក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិច

ការស្រោបសម្ភារៈអេឡិចត្រូតវិជ្ជមាន និងអវិជ្ជមាន និងថ្នាំកូតអេឡិចត្រូតថ្មនៅក្នុងឧស្សាហកម្មថាមពលថ្មី